Utrustningen i CMP-serien som är oberoende utvecklad av LSTD levererar tillverkare av halvledarmaterial såsom SI, SIC, GaAs, lnP, GaN, CdTe, diamant, etc. Utrustningen för återvinning av skivor har kommit in i flera halvledartillverkningsföretag som SMIC; Den automatiserade produktionslinjen för kiselkarbidpolering kommer att levereras till kundens fabrik för provproduktion i Q1 2024;
På grundval av det ursprungliga laboratoriet kommer miljontals yuan att investeras för att bygga 100 000 nivåer, 10000 nivåer och 100 nivåer renrum och precisionstestutrustning, som kommer att inspekteras och tas i bruk under andra halvan av 2024.
6"/8" SiC wafer polerlinje
6"/8" SiC wafer
Städrum 100 klass
Rengöringsmaskin för flera-slots
Inspektionskapacitet
