IDP Typ Kemisk Mekanisk Polermaskin
Varje tryckplatta av CP-serien kemisk mekanisk polermaskin med oberoende drivning av tryckplattan drivs av en separat servoreducerare. Till skillnad från det sätt som den centrala styrrullsdrivna CP-maskinen drivs av friktion, kan den tryckplåtsoberoende drivande CP-maskinen realisera exakt hastighetskontroll av tryckplattan. Samtidigt, på grund av strukturen för att undvika friktionskontakt i poleringsområdet, minskas genereringen av kristallpartiklar av poleruppslamning. Således minskar sannolikheten för partikelförorening och repor på ytan av skivan; Rotationshastigheten för varje tryckplatta i IDP-maskinen kan ställas in separat. Beroende på egenskaperna hos tryckcylindern för varje tryckplatta, resulterar bearbetningen i nästan noll skillnad mellan olika tryckplattor kan uppnås genom finjustering av tryckplattornas rotationshastighet.
För IDP-maskiner med stor storlek kan positionering och stationsväxling av keramiska plattor realiseras genom att lägga till interna och externa styrrullar, för att realisera lastning och lossning i en station. Den kan också realisera anslutningen av flera maskiner genom att integrera manipulator för att bilda en automatisk produktionslinje.

IDP TYPE CP-serien kemisk mekanisk polermaskin
Typ och spec | CP-380B-IDP | CP-460B-IDP | CP-610B-IDP | CP-810B-IDP |
Polerplattans diameter | 381 mm | 460 mm | 610 mm | 812 mm |
Tryckplattans diameter | 139 mm | 150 mm | 240 mm | 304,8 mm |
Antal tryckplatta | 3 | 3 | 4 | 4 |
Polerplatta RPM | 10~160rpm | 10~160rpm | 10~115rpm | 10~87 rpm |
Poleringstryck (max.) | 100 kg | 100 kg | 140 kg | 250 kg |
Tryckplatta driven Motoreffekt | 200W | 200W | 400KW | 400KW |
Tryckplattans rotationshastighet | 0~200 rpm | 0~200 rpm | 0~100 rpm | 0~100 rpm |
Huvudmotoreffekt | 0.75kw | 1,5kw | 3kw | 5,5KW |
Strömförsörjning | 3PH, 380V, 50Hz | |||
Dimensionera | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H |
Vikt (ca..) | 350 kg | 350 kg | 980 kg | 1800 kg |
Wafer lastkapacitet | 2"-4st/huvud | 2"-4st/huvud | 2"-10st/huvud 4"-3st/huvud | 2"-14st/huvud 4"-5st/huvud 5"-3st/huvud |
Typ och spec | CP-910B-IDP | CP-1280B-IDP | CP-1500B-IDP |
Polerplattans diameter | 914 mm | 1282 mm | 1500 mm |
Tryckplattans diameter | 360 mm | 485 mm | 576 mm |
Antal tryckplatta | 4 | 4 | 4 |
Polerplatta RPM | 10-80rpm | 10~64rpm | 10-54rpm |
Poleringstryck (max.) | 320 kg | 560 kg | 760 kg |
Tryckplatta driven Motoreffekt | 2KW | 1KW | 1,3KW |
Tryckplattans rotationshastighet | 2KW | 0~100 rpm | 0~100 rpm |
Huvudmotoreffekt | 11kw | 22kw | 35kw |
Strömförsörjning | 3PH, 380V, 50Hz | ||
Dimensionera | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Vikt (ca..) | 2200 kg | 7000 kg | 8600kg |
Wafer lastkapacitet | 4"-7st/huvud 5"-5st/huvud 6"-3st/huvud | 5"-8st/huvud 6"-6st/huvud 8"-3st/huvud | 6"-8st/huvud 8"5 st/huvud |
Populära Taggar: idp typ kemisk mekanisk polermaskin, Kina idp typ kemisk mekanisk polermaskin tillverkare, leverantörer, fabrik
Nästa
NejDu kanske också gillar
Skicka förfrågan














