MP Series Mechanical Polishing Machine
MP Series Mechanical Polishing Machine
MP Series Mechanical Polishing Machine

MP Series mekanisk polermaskin

Skicka förfrågan

produkt introduktion

LSTD MP-seriens mekaniska polermaskin är utvecklad för att möta kraven på snabb polering av superhårda material. Utrustningen använder mjuk metallplåt eller kompositplatta och diamantslam med specifik partikelstorlek, vilket kan få det bearbetade arbetsstycket att snabbt nå spegelytan. En annan betydande fördel med mekanisk polering är att under förutsättningen av god kontroll av plåtformen kan den erhålla en mycket plan arbetsstyckesyta utan nästan ingen kantkollaps. För arbetsstycket (wafer) med epitaxiell applicering, efter mekanisk polering, kan processtiden för kemisk mekanisk polering avsevärt förkortas och kostnaden minskas. MP-serien kemisk mekanisk polermaskin kan användas för mekanisk polering av olika superhårda halvledarskivor som safir, kiselkarbid och diamant, samt polering av andra superhårda material som keramik, hårdmetall och kylt stål.

Som CP-seriens kemiska mekaniska polermaskiner:

MP-seriens mekaniska polermaskiner är också indelade i tre samma modeller: bastyp , tryckskiva centerdriven typ (CD-typ) och tryckplattaoberoende driven typ (IDP-typ) (se sidan 4; MP-seriens mekaniska polermaskiner har en liknande struktur som CP serie kemiska mekaniska polermaskiner, men för att möta behoven för mekanisk polering, är MP-seriens mekaniska polermaskiner utrustade med polerplattasvarvsystem för att spåra plattorna.

IDP typ mekanisk polermaskin:

En mekanisk polermaskin av IDP-typ kan också förbättra den mekaniska poleringsnoggrannheten ytterligare genom att integrera tryckplattans svängfunktion; För att lösa problemen med expansionsdeformation och hårdhetsminskning av polerplattan orsakad av uppvärmning som genereras av mekanisk polering, har LSTD utvecklat en ny teknik och ansökt om ett patent som effektivt kan kontrollera plattans yttemperatur, plattform och plattans hårdhet; För mekanisk polering av tredje generationens halvledarmaterial som kiselkarbid, diamant och andra wafers, kan denna teknik effektivt lösa problemen med mekanisk polering effektivitet och noggrannhet.

BASIC TYPE MP-serien mekanisk polermaskin

Typ och spec	MP-380B(V*)	MP-460B(V)	MP-610B(V)	MP-810B(V)	MP-910B(V)	MP-1280B(V)	MP-1500B(V)
Polerplattans diameter	381 mm	460 mm	598 mm	796 mm	898 mm	1262 mm	1480 mm
Tryckplattans diameter	139 mm	150 mm	240 mm	304,8 mm	360mm/355mm	485 mm	576 mm
Antal tryckplatta	3	4	4	4	4	4	4
Polerplatta RPM	10~160rpm	10~160rpm	10~115 rpm	10~87 rpm	10-80rpm	10~64rpm	10-54rpm
Poleringstryck (max.)	100 kg	100 kg	140 kg	250 kg	320 kg	560 kg	760 kg
Motor kraft	0.75kw	1,5kw	3kw	5,5KW	11kw	22kw	35kw
Strömförsörjning	3PH, 380V, 50Hz
Dimensionera	1250L 770W 1560H	1360L 850W 1650H	1550L 900W 1700H	1980L 920W 1900H	2100L 1262W 2120H	2550L 1670W 2200H	3500L 2020W 2500H
Vikt (Ca...)	420 kg	720 kg	1080 kg	2200 kg	2400 kg	7300 kg	9500 kg
Wafer lastkapacitet	2"-4st/huvud 2"-3st/huvud(V)	2"-5st/huvud 2"-4st/huvud(V)	2"-10st/huvud 4"-3st/huvud	2"-14st/huvud 4"-5st/huvud 5"-3st/huvud	4"-7st/huvud 5"-5st/huvud 6"-3st/huvud	5"-8st/huvud 6"-6st/huvud 8"-3st/huvud	6"-8st/huvud 8"-5st/huvud

CD TYPE MP-serien mekanisk polermaskin

Typ och spec	MP-380B-CD	MP-460B-CD	MP-610B-CD	MP-810B-CD
Polerplattans diameter	381 mm	460 mm	598 mm	796 mm
Tryckplattans diameter	139 mm	150 mm	240 mm	304,8 mm
Antal tryckplatta	3	4	4	4
Polerplatta RPM	10~160rpm	10~160rpm	10~115 rpm	10~87 rpm
Poleringstryck (max.)	100 kg	100 kg	140 kg	250 kg
Centerdriven Motorkraft	400W	750KW	1KW	1,5KW
Huvudmotorkraft	0.75kw	1,5KW	3kw	5,5KW
Strömförsörjning	3PH, 380V, 50Hz
Dimensionera	1250L 770W 1560H	1360L 850W 1650H	1550L 900W 1700H	1980L 920W 1900H
Vikt (Ca...)	420 kg	720 kg	1080 kg	2200 kg
Wafer lastkapacitet	2"-4st/huvud	2"-5st/huvud	2"-10st/huvud 4"-3st/huvud	2"-14st/huvud 4"-5st/huvud 5"-3st/huvud

Typ och spec	MP-910B-CD	MP-1280B-CD	MP-1500B-CD
Polerplattans diameter	898 mm	1262 mm	1480 mm
Tryckplattans diameter	360 mm / 355 mm	485 mm	576 mm
Antal tryckplatta	4	4	4
Polerplatta RPM	10-80rpm	10~64rpm	10-54rpm
Poleringstryck (max.)	320 kg	560 kg	760 kg
Centerdriven Motorkraft	2KW	3,5KW	5,5KW
Huvudmotorkraft	11kw	22kw	35kw
Strömförsörjning	3PH, 380V, 50Hz
Dimensionera	2100L 1262W 2120H	2550L 1670W 2200H	3500L 2020W 2500H
Vikt (Ca...)	2400 kg	7300 kg	9500 kg
Wafer lastkapacitet	4"-7st/huvud 5"-5st/huvud 6"-3st/huvud	5"-8st/huvud 6"-6st/huvud 8"-3st/huvud	6"-8st/huvud 8"5 st/huvud

IDP TYPE MP-serien mekanisk polermaskin

Typ och spec	MP-380B-IDP	MP-460B-IDP	MP-610B-IDP	MP-810B-IDP
Polerplattans diameter	381 mm	460 mm	598 mm	796 mm
Tryckplattans diameter	139 mm	150 mm	240 mm	304,8 mm
Antal tryckplatta	3	3	4	4
Polerplatta RPM	10~160rpm	10~160rpm	10~115 rpm	10~87 rpm
Poleringstryck (max.)	100 kg	100 kg	140 kg	250 kg
Tryckplatta driven Motoreffekt	200W	200W	400KW	400KW
Tryckplattans rotationshastighet	0~200 rpm	0~200 rpm	0~100 rpm	0~100 rpm
Huvudmotorkraft	0.75kw	1,5kw	3kw	5,5KW
Strömförsörjning	3PH, 380V, 50Hz
Dimensionera	950L 770W 1560H	1100L 850W 1650H	1350L 900W 1700H	1600L 920W 1900H
Vikt (Ca...)	350 kg	350 kg	980 kg	1800 kg
Wafer lastkapacitet	2"-4st/huvud	2"-4st/huvud	2"-10st/huvud 4"-3st/huvud	2"-14st/huvud 4"-5st/huvud 5"-3st/huvud

Typ och spec	MP-910B-IDP	MP-1280B-IDP	MP-1500B-IDP
Polerplattans diameter	898 mm	1262 mm	1480 mm
Tryckplattans diameter	360 mm / 355 mm	485 mm	576 mm
Antal tryckplatta	4	4	4
Polerplatta RPM	10-80rpm	10~64rpm	10-54rpm
Poleringstryck (max.)	320 kg	560 kg	760 kg
Tryckplatta driven Motoreffekt	2KW	1KW	1,3KW
Tryckplattans rotationshastighet	2KW	0~100 rpm	0~100 rpm
Huvudmotorkraft	11kw	22kw	35kw
Strömförsörjning	3PH, 380V, 50Hz
Dimensionera	1800L 1262W 2120H	2180L 1670W 2200H	2800L 2020W 2500H
Vikt (Ca...)	2200 kg	7000 kg	8600kg
Wafer lastkapacitet	4"-7st/huvud 5"-5st/huvud 6"-3st/huvud	5"-8st/huvud 6"-6st/huvud 8"-3st/huvud	6"-8st/huvud 8"5 st/huvud

Populära Taggar: mp-serien mekanisk polermaskin, Kina mp-serien mekanisk polermaskin tillverkare, leverantörer, fabrik

Ett par

Nej

Nästa

Nej

Du kanske också gillar

Skicka förfrågan