Malvätskan är uppdelad enligt dess verkningsmekanism: mekanisk verkan slipvätska, kemisk mekanisk verkan slipvätska.
Mekanisk slipvätska: diamant, B4C etc. används som slipmedel, dispergeras i det flytande mediet genom att tillsätta dispergeringsmedel etc. för att bilda en vätska med slipeffekt, kallad diamantslipvätska, borkarbidslipvätska etc. Slipmedlet är fördelas fritt i dispersionsvätskan, och slipningen och förtunningen av arbetsstycket realiseras genom att använda principen att slipmedlets hårdhet är större än för arbetsstycket som ska slipas. Beroende på slipmedlets yta, storleken på partiklarna, konfigurationen av slipvätskan, stabiliteten hos sliputrustningen etc., efter att slipningen är klar, är det lätt att lämna stora eller små repor på ytan av slipmedlet. arbetsstycket. Därför används i allmänhet mekaniskt verkande slipmedel för grovslipning, följt av precisionsslipning och polering.
Kemisk-mekanisk slipvätska: Kemisk-mekanisk slipvätska använder principen "mjukslipning och härdning" vid slitage, det vill säga polering med mjukare material för att uppnå en polerad yta av hög kvalitet. Det är en kombination av mekanisk slipning och kemisk korrosion. Den bildar en slät och plan yta på ytan av det malda mediet med hjälp av slipverkan och kemisk korrosionsverkan av ultrafina partiklar. Därför kallas kemisk mekanisk polervätska även kemisk mekanisk polervätska (Chemical Mechanical Polishing, kallad CMP). I närvaro av ett visst tryck och poleringsslam rör sig arbetsstycket som ska poleras i förhållande till polerplattan, och en slät yta bildas på ytan av det polerade arbetsstycket med hjälp av den organiska kombinationen av slipeffekten av nanopartiklar och oxidationsmedlets korrosionseffekt.




